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三维形貌轮廓仪的特点有哪些?

提 供 商: 上海曼戈斐光学技术有限公司 资料大小:
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详细介绍
    金属中的电子并不完全局限于金属表面之内,电子云密度并不是在表面边界处突变为零。在金属表面以外,电子云密度呈指数衰减,衰减长度约为1nm。三维形貌轮廓仪用一个极细的、只有原子线度的金属针尖作为探针,将它与被研究物质的表面作为两个电极,当样品表面与针尖非常靠近时,两者的电子云略有重叠。若在两极间加上电压U,在电场作用下,电子就会穿过两个电极之间的势垒,通过电子云的狭窄通道流动,从一极流向另一极,形成隧道电流I。隧道电流I的大小与针尖和样品间的距离s以及样品表面平均势垒的高度有关,其关系为式中A为常量。
 
    常规的三维形貌轮廓仪和扫描探针显微镜技术的结合,双模式操作,即使在长程测量时也可以得到zui优化的小区域三维测图,针尖扫描采用的压电陶瓷驱动扫描模式,三维形貌轮廓仪在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察,针尖扫描采用双光学传感器,同时拥有宽阔测量动态范围及亚纳米级垂直分辨率,为保证工作过程中测童效果不受离焦的影响,即不发生检测形变,系统应该采用远心光路的方案,因为被测物面相对测童光轴的倾斜角度是变化的,因此CCD靶面在针对不同的物面倾斜角度进行采集图像时,必须调整至相对应的角度。
 
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